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電子半導體

氫能源石墨雙極板

石墨雙極板是一種用于電化學電池的電極材料，由石墨和多種添加劑組成。它的主要作用是提供電池反應所需的反應表面，同時具有良好的導電性、穩(wěn)定性和耐腐蝕性。石墨雙極板通常用于燃料電池和電解池等氫能源領(lǐng)域的電池中，主要具有以下作用：

EDM電火花加工

EDM石墨，又稱為電火花加工用石墨，是一種新型材料，現(xiàn)在越來越廣泛地應用在精密模具加工行業(yè)。目前在發(fā)達的歐洲國家的模具加工廠，超過90%以上的模具加工電極材料是石墨。銅，這種曾經(jīng)占統(tǒng)治地位的電極材料，和石墨電極相比它的優(yōu)勢幾乎消失殆盡。為什么會這樣呢?因為石墨作為電火花加工用放電材料具有巨大的優(yōu)勢，由于火花油中也含有C原子，在放電加工時，高溫使得火花油中的C原子被分解出來，從而在EDM石墨電極的表面形成保護膜，補償了石墨電極的損耗，因此石墨電極的損耗很小，所以使用壽命長。

柔性石墨箔

柔性石墨箔由天然膨脹石墨制成，在半導體應用上可提高系統(tǒng)和工藝的性能，最大限度的降低能耗并保證可靠性。可用于半導體生產(chǎn)設(shè)備中的保溫筒、隔熱材料、柔性層、密封材料等各種零部件。

等離子蝕刻設(shè)備部件

在等離子體蝕刻處理過程中，等離子體反應室的部件表面會暴露在等離子體蝕刻氣體中，被腐蝕，造成污染。而石墨在離子轟擊或等離子等極限工作條件下，不易受腐蝕，可用于等離子蝕刻設(shè)備部件，如石墨電極。

離子注入設(shè)備部件

離子注入是指將硼、磷、砷等離子束加速到一定能量，然后注入晶圓材料的表層內(nèi)，以改變材料表層物質(zhì)特性的工藝。

外延石墨盤

外延工藝是指在單晶襯底上生長一層跟襯底具有相同晶格排列的單晶材料，外延層可以是同質(zhì)外延層(Si/Si)，也可以是異質(zhì)外延層 (SiGe/Si 或 SiC/Si 等)。在硅和碳化硅的外延工藝中，晶片承載在石墨盤上，有桶式、煎餅式和單晶片石墨盤。石墨盤的性能和質(zhì)量對晶片的外延層的質(zhì)量起著至關(guān)重要的作用。

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